제품 소개
BLUEICE PRIME 세메스
개요
S.LSI 공정에 최적화 된 L1X급 장치 매엽식 세정 / 건조 설비
특징
공정 성능
- 고등급 공정 (19nm)
- 결함없는 물리적 청소
생산성
- 하드웨어 - NIC 보울로 인한 오염제거
- CDA 시스템에 의한 기울기 제거
- SF-Aerosol : 고속 / 균일 방울
- 스마트 시스템 : APAC(자동흐름제어), 스마트 기기 분석, 시스템 자동 검사 시스템
IRIS PRIME 세메스
개요
IRIS와 BLUEICE PRIME의 공동 작업은 2배급 세정 설비
특징
공정 성능
- 고수준 공정 (26nm)
생산성
- NIC 보울 오염제거
- 새로운 S2 에어로졸 : 고속 / 균일 방울
- 스마트 시스템 : APAC (자동 유량 제어), 스마트 장비분석 시스템, 자동검사 시스템
- 에너지 효율 등급 : 1등급
BLUEICE SPM 세메스
개요
300mm 웨이퍼 후 공정 CMP 클린, PR 스트립, 비산화 PR 스트립, 금속 제거 공정
특징
공정 성능
- 150℃ 이상의 고온 SPM 공정
- PR Strip, Post CMP Clean, Metal Clean 등
생산성
- NIC 보울에 의한 오염없는 세정
- H2SO4 Recycle System
- 에너지 효율 등급 : Class 1
IRIS 12B 세메스
개요
300mm 웨이퍼의 표면 및 이면 처리가 가능한 매엽식 세정설비로 다양한 공정에 대응
특징
Dual Stack Chamber
- 독자적인 2층 구조 구성으로 Footprint 최소화
- 약액 Recycle을 통한 유지비 절감 구현
High Throughput 370WPH
- 빠른 로봇 시스템 및 최적화 된 Software 스케줄링으로 시간당 370매 처리가능
RAMs for CoO (Reliability Availability Maintainability for Cost of Ownership)
- 단위 Chamber당 다양한 옵션 구성 가능 (약액노즐3, 옵션노즐2)
- 45nm 이하 양산공정 대응
OHT SFA
개요
웨이퍼 보관용기의 자동 반송을 위한 물류 System
특징
- 물류간 최적경로 탐색 및 작업할당을 하는 OCS(OHT Control System)의 통제를 받아 공정/설비간 웨이퍼 보관용기를 자동 반송
- 반송대상 (FAB : FOUP, FOSB, Reticle / Backend : Cassette, Magazine, Tray)
- Velocity (직선 / 곡선 : 3.3 / 1.0㎧ | 가속 / 감속 : 2.6㎨ / 3.5㎨)
- 분기/합류방식 : Vehicle self switching
- Power Supply : CPS-Contactless Power Supply (이중화)
- 반송 Interface : 공정 설비, Stocker, Conveyor, Lifter